一：扩散泵真空机组概述：

扩散泵系列真空机组以罗茨旋片机组作为预抽，扩散泵主体及挡板均有改进，使得在较低真空领域抽速有较大成度增加。它以油扩散泵为主泵和阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵（前级泵）等组成高真空抽气系统，可获得（10-2—10-4Pa）的工作真空度。扩散泵系列真空机组可作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、真空浸渍、太空模拟试验装置等高科技设备的高真空获得装置，以及其它需要在10-1 --10-4帕的低气压(高真空)环境下工作的真空系统的配套设备。

扩散泵系列真空机组的特点是抽气能力大，抽速从190L/S至49000L/S范围内可供选择；并可长时间稳定连续工作。扩散泵系列真空机组被广泛地应用在电子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等高科技领域。如各种真空炉、真空镀膜设备、真空冷冻干燥设备等。典型真空机组是用气动阀门程序控制。

二：扩散泵真空机组启动操作

　　1）系统启动时，首先接通扩散泵的冷却水，调整水温继电器的温度设定值，然后开动机械泵进行粗抽。

　　2）启动机械泵前，要检查泵的油位是否合乎要求，高真空阀及前级阀是否关闭。打开粗抽阀，在中小型抽气系统中，只需要简单的粗抽管道。在某些特殊要求的大型真空室里，可采用多步程序进行粗抽：首先，可通过一个小直径的孔或旁路管道对真空室进行粗抽，当压力降到没有紊流存在时，再打开主粗抽阀门。

　　3）当真空室内的压力降到100Pa之后，可打开前级管道阀并给扩散泵加热器通电。如果扩散泵已经处于真空封闭状态，则可在步骤1） 中同时加热扩散泵。当扩散泵刚开始通电加热时，如果电源有调压器时，开始可适当增加点电压，但泵油接近于蒸发温度时应把电压调回到规定电压，这样可加快起动。但应注意时间过长会造成泵油裂化。

　　4）一般将系统粗抽到15~20Pa左右时，关闭粗抽阀，等扩散泵正常工作后（即油蒸汽射流正常喷射），打开高真空阀进行抽气。

　　5）如果扩散泵正常工作一段时间后，被抽容器的真空度仍不提高，则说明系统漏气率太大，应当关闭高真空阀，待系统漏率符合要求时再打开高真空阀进行抽气。

系统停止运转时应按下述步骤进行：

　　1）关闭高真空阀。

　　2） 如果在扩散泵入口与高真空阀之间装有液氮冷阱，则在关闭高真空阀后，应使冷阱升温，让扩散泵抽走冷阱放出的气体和蒸汽。冷阱升温可采用自然升温和用干燥氮气吹液氮储罐两种方法。前者升温时间较长，后者可使升温时间大大缩短。

　　3）切断扩散泵加热电源。如有冷阱，可在冷阱温度回升到0℃时，切断扩散泵电源。

　　4）当扩散泵冷却到50℃时，关闭前级阀，然后关掉机械泵，并立即向泵内放入大气（可通过电磁放气阀自动完成）。

　　5）关掉扩散泵的冷却水。

　　6）在真空系统停止工作时，如无特殊要求，应将系统各元件保持在真空状态下封存，但机械泵内应通大气。