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泉州市晶茂真空设备有限公司
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工作可靠
使用寿命长
常用于要求抽气时间和排气量大的场合
极限压力:7×10-5pa
工作介质:扩散泵专用油
冷却方式:水冷
应用:不能单独使用,须配上机组使用
一、KT(TK)型金属油扩散泵概述:
KT(TK)型金属油扩散泵与K型金属油扩散泵相比,KT(TK)型金属油扩散泵的抽速可提高30—50%,它亦应用于电子工业、化工、原子能工业、空间模拟试验。KT(TK)型金属油扩散泵用于高真空和超高真空抽除高真空系统中对工作液体无严重危害的气体,它不能直接对大气排气,需要配置前级泵。
二、KT(TK)型金属油扩散泵的原理:
当前级泵将KT(TK)型金属油扩散泵内抽至此10pa左右的预真空后,在室温下具有低饱和蒸汽压的工作液,由加热器加热,产生的油蒸汽沿蒸汽导管向上运动,经几级喷嘴定向,高速喷出,将扩散在油蒸汽中的气体带到前级端。由前级泵排除到大气中,油蒸汽喷射在泵壁后,遇到冷却后,又流回到泵底,由此重复工作,从而达到高真空目的。
三、KT(TK)型金属油扩散泵特点:
1、抽速大(与K系列泵相比,TK、 KT泵的抽速可提高30-50%)
2、工作可靠
3、使用寿命长
常用于要求抽气时间和排气量大的场合
四、KT(TK)型金属油扩散泵技术参数表:
KT(TK)型金属油扩散泵的性能曲线图:
六、KT(TK)型金属油扩散泵的外形图及尺寸:
KT(TK)型金属油扩散泵使用与操作
对于初次安装好的泵,应对极限压力进行测试,其操作程序如下:
a. 开动前级泵:
b. 用热偶真空计测量入口压力,应低于10pa后,接通冷却水:
c. 对泵进行加热0.5-1h后,对电离真空规除气10min,即可连续测量其压力,直到极限压力为止。
d. 泵的停止工作与上述程序相反,先关断测量仪表,再关断加热器,待扩散泵冷却到50℃以下时关断冷却水,最后关闭前级真空泵。
KT(TK)型金属油扩散泵安装与维护
安全
加热器的引线,电级等不能与机壳接触,以免短路或漏电
维护
a. 扩散泵只能抽除对泵及工作液无损害的气体,如抽除挥发性气体或高温气体时,必须使被抽气体加以冷凝或冷却
b. 扩散泵在工作时,不能中断冷却水,严防大气突然进入泵内,以免引起工作液的氧化。
c. 扩散泵应在环境清洁处所工作
d. 扩散泵工作一段时间后(约半年),若发现真空度变坏,或抽速降低使系统中恢复真空时间太长时,必须对扩散泵清洗,更换工作液。
e. 扩散泵应存放在温度为10℃-35℃,湿度不超过65%的通风良好的室内。